5月12日下午,“百年榮光 再啟新程”閔行區慶祝中華全國總工會、上海總工會成立100周年暨模范集體、勞動模范和先進工作者表彰大會隆重舉行。在現場,全國工業和信息化系統勞動模范、上海市勞動模范代表之一,上海至純潔凈系統科技股份有限公司董事長蔣淵女士上臺分享了自己的創業經歷和體會。作為民營高科技上市企業帶頭人,蔣淵女士始終踐行科技報國、產業報國的初心和使命。
回顧20年前,中國半導體產業面臨多重困境,蔣淵女士創立至純科技,從最開始的高純工藝系統出發,逐步向核心設備、電子材料等同能力圈的不同領域拓展。2017年上市后,堅定“自主可控”路徑,研發團隊攻堅克難,研制出高溫硫酸、單片磷酸等系列單片式機型,技術水平達國內領先、國際先進,部分工藝機臺填補了國產濕法裝備的空白。
作為國產高純工藝系統領軍者,至純科技自主研發的前驅體設備、研磨液設備等核心支持性設備累計交付量達3.6萬臺,2024年單年出貨量更是破了10,000臺大關。憑借48.8%的12英寸晶圓廠特氣設備市占率,至純科技徹底改寫此前美日法德及臺企的壟斷格局。公司的配套系統實現ppt級不純物控制,多項技術指標超越國際競品。
依托在氣體純化領域25年技術積累,公司已建成國內首座完全國產化的28納米制程12英寸晶圓廠大宗氣站,并實現連續36個月穩定運行。2024年,投運的第二座氣站已進入運營階段,后續預計每年貢獻數億元營收,為公司提供長期穩定的現金流。配合TGM駐廠服務、腔體部件再生等增值業務,公司正形成覆蓋晶圓廠全生命周期的服務矩陣。
從起步時的7人團隊,到如今累計申請專利達867項的高新技術企業集團,至純科技用二十年時間詮釋了"中國智造"的韌性與活力。在發展進程中,至純科技還勇擔產業鏈“鏈主”之責,攜手四五十家上下游企業構建產業集群,全力推進國產化替代,目前已基本實現自主可控,具備持續為產業用戶提供高質量服務的能力。盡管前期投入巨大,但這份未雨綢繆在去年12月以來的國際經濟環境變化中彰顯成效。
立足"十四五"自主可控攻堅期,至純科技正以"關注核心工藝,服務關鍵制程"為使命,向著"成為國內領先的半導體工藝裝備、工藝系統及材料提供商"的目標穩步邁進,將繼續以技術創新為矛、以產業協同為盾,在全球半導體競爭的浪潮中,開辟出一條自主可控的發展之路。
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